8日,，記者從國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)管總局獲悉,，該局近日新批準(zhǔn)二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、二維硅納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì),、一維硅納米光柵標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)3項(xiàng)國(guó)家一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì),，這些物質(zhì)能夠同時(shí)滿(mǎn)足納米制造產(chǎn)業(yè)角度和長(zhǎng)度校準(zhǔn)需求，為新一代信息技術(shù),、新材料,、生物制造、高端裝備等領(lǐng)域的納米制造提供精準(zhǔn)“標(biāo)尺”,。

　　據(jù)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制單位同濟(jì)大學(xué)相關(guān)專(zhuān)家介紹,，研制高精度納米級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，是打造高準(zhǔn)確度納米測(cè)量傳遞鏈,、提升國(guó)產(chǎn)納米制造產(chǎn)品質(zhì)量可靠性的關(guān)鍵,。二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)突破性地采用分步沉積原子光刻技術(shù)，制備難度較大,，可直接溯源到自然界量子化物理常數(shù)(鉻原子躍遷頻率),，角度絕對(duì)準(zhǔn)確性在0.001°量級(jí)，相當(dāng)于把一個(gè)蛋糕按扇形均分成36萬(wàn)份;二維鉻納米柵格的結(jié)構(gòu)面積一般為300μm(微米)×300μm(微米),，在沒(méi)有劃傷或破壞的狀況下,，每次使用2μm(微米)×2μm(微米)，不重復(fù)使用測(cè)量區(qū)域次數(shù)可達(dá)20000次以上,。其可應(yīng)用于晶圓級(jí)原子力顯微鏡,、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測(cè)設(shè)備校準(zhǔn),，也可應(yīng)用于對(duì)超精密位移傳感器多種參數(shù)的光柵干涉法校準(zhǔn)。

　　納米級(jí)角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研制成功,，實(shí)現(xiàn)了納米測(cè)量領(lǐng)域的扁平化計(jì)量,，可通過(guò)在線(xiàn)校準(zhǔn)直接將高精度計(jì)量數(shù)據(jù)傳遞到企業(yè)計(jì)量現(xiàn)場(chǎng)，避免傳統(tǒng)逐級(jí)量值傳遞方式造成的誤差累積放大,，將為我國(guó)納米制造產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐,。

　　據(jù)了解，國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)管總局將持續(xù)強(qiáng)化納米測(cè)量領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制應(yīng)用,，進(jìn)一步解決納米制造“測(cè)不了,、測(cè)不全、測(cè)不準(zhǔn)”問(wèn)題,，為筑牢新興產(chǎn)業(yè)和未來(lái)產(chǎn)業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)提供支撐保障,。(記者付麗麗)

編輯：周大為